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全自动热压式固晶系统 FIREBIRD TCB

2024-03-20
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全自动热压式固晶系统 FIREBIRD TCB

详细介绍

ASMPT FIREBIRD TCB 系列

全自动热压式固晶系统

尺寸宽 x 深 x 高
1,560 x 3,030 x 2,560 mm

特色

  • 灵活的物料处理能力，专门处理异质整合 2D、2.5D 及 3D

    • 并存晶圆及卷带送料

    • 可处理框条式基板 / 单一式基板 / 晶圆

    • 特宽载具处理，适用于单一式基板

    • 选配 SlimFEM 系统直接处理晶圆及玻璃基板

  • 可靠的安装基础

    • > 250 台已在客户厂房进行量产

  • 创新工艺处理

    • 惰性环境, 实现独有的 LPC 制程及高产能

    • 实时主动位置倾斜控制


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